電子特气國產化,中國芯片自主的另一場战争和機遇

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四年前，全世界光刻機霸主ASML（阿斯麦）看中了一家中國企業，并為其產物背书。

若是你想利用ASML的光刻機，它會举薦包含這家中國公司在内的四家企業，采辦他们的產物包管光刻機的制造精度；若是你没有依照建议選擇，那末出了问题，後果自傲。

這家中國企業就是華特气体。

2017年，華特气体的光刻夹杂气經由過程了ASML的認证，在這個運動彩券線上，全世界唯一四家企業的認证名单中，華特气体是独一一家中國企業。

得到光刻機頂尖企業的認证，彰显了“中國自豪”；但硬幣的另外一面是，日本除臭球,表露出我國在電子特气這一细分市場的羸弱。

電子特气被称為“芯片制造的血液”，是仅次于大硅片的晶圆制造质料。作為工業大國，气体是钢铁等工業的副產物，這本應是中國的强项，但工業气体却持久被美法德日四大巨擘独霸。

19年的對峙，華特气体硬生生在巨擘垄断下扯開了一道口兒，不外和近千亿营收的四巨擘比拟，中國企業的個頭還過小，這和我國庞大的芯片需求紧张不匹配。

在中國芯片財產突起的時势下，加速补充缺失的“芯片血液”，成為亟待解决的问题。

不容轻忽的气体

需求延续飞腾，全世界晶圆厂兴修不息。台积電、英特尔、联電等巨擘不竭提速扩產，本錢開支也延续冲破汗青极值。

作為集成電路第一大消费國，全世界的晶圆產能正向中國轉移。据统计，2021-2022全世界规划新建29座晶圆厂，中國大陆地域和中國台灣省就盘踞了16座。

长江存储、长鑫存储、中芯國际、華虹半导体、華润微……都在扩充產能，但是大张旗鼓的追逐暗地里，有一条轻易被轻忽的暗線，挑動着本就严重的神經。

被称為“芯片血液”的電子特气，在芯片制造中的需求量仅次于大硅片，融通着晶圆制造的多個环節。

离子注入、刻蚀、薄膜沉积、搀杂等工艺中都要用到特别气体，這些气体跨越110种，經常使用的有20-30种。

出格因此氦氖氪氙為主的夹杂气体，是光刻环節不成或缺的质料。光刻機激光腔体注入夹杂气体，才能發射出特定波长和能量的激光，進而去除芯片表层的光刻胶，在芯片概况構成纳米级的電路圖。

這一工序决议着芯片制程精度，影响流片良品率。若是气体纯度不敷或配比不精准，哪怕0.1克乃至更低的质量變革，城市失之毫厘，谬以千里。

電子特气的首要性也抬升着其在晶圆制造財產链中的贸易價值。

SEMI数据显示，在晶圆质料328亿美元的市場盘子中，電子特气為43亿美元，占比13%，是仅次于硅片的第二大耗材。

跟着晶圆厂不竭扩放逐备，電子特气市場范围延续增加。中國半导体行業协會数据显示，中國電子特气市場范围在曩昔十年翻了一番，2020年到达了150亿元。

估计2024年中國電子特气市場范围将晋升到230亿元，4年CAGR為11.28%，届時中國将盘踞全世界6成的市場。

相比力来讲，電子特气的市場范围其实不大，但這些“不起眼”的气体决议着芯片制程和工艺中藥，精度。

使人揪心的是，電子特气持久被巨擘钳制，成為我國半导体財產又一洽商范畴。如斯首要的關頭质料，明显不克不及任由外洋厂商垄断，“芯片之血”必需要把握在本身手里。

被卡了脖子

残暴的高科技争取战中，芯片倒是民族工業之痛。装备中的光刻機，芯片材猜中的高端光刻胶等，均把握在國际厂商手中。

電子特气也不破例，持久以来几近被巨擘垄断。2019年，美國氛围化工、法國液化氛围、日本大阳日酸、德國林德團体四巨擘瓜分全世界91%的市場，寡頭垄断款式较着。

海内市場也不破例，四巨擘主导了海内份额的88%，海内厂商仅盘踞12%。并且集成電路出產用的電子特气，我國仅能出產20%的品种，其余均高度依靠外供。

比拟其他耗材，工業气体重要来历于炼钢的副產物，而作為工業大國，電子特气本應是中國的强项，却為什麼受制于人？

首當其冲也是最重要的缘由是認证壁垒，電子特气必要晶圆厂和装备厂商2轮的严酷审核，而集成電路范畴的認证最少必要2年時候，一旦得到客户承認，不會等闲改换供给商；

當前，芯片巨擘们和大牌气体供给商創建了持久的互助瓜葛，構成安定的上下流长处同盟，冲破這类既有的江湖款式，是很是坚苦的。

可以说，認证是毗連客户和装备商的纽带，只有經由過程天資認证，才有可能打入頭部企業的供给链，打開高端供给渠道。

其次是市場壁垒，在市場款式被外資独霸的布景下，海内气体企業缺乏上機检测的機遇。面临國產物牌的枷锁，气体企業很难实現從0到1的冲破。

不外，近年来，长鑫存储、长江存储、中芯國际、華虹不竭發力，晶圆產能向中國市場歪斜，海内企業具有了更多的發展機遇；

最後则是技能壁垒，因為行業Know-how集中在气体纯化、气体精度，0.1克乃至更小质量的误差都将影响產物品格，造成為了较高的技能壁垒。

不外，相對于较其他關頭质料，中國企業在希有气体的研制方面的差距其实不大，我國气体企業的纯化技能已实現了冲破，出產工艺也比力成熟。

特气两家龙頭企業——華特气体和金宏气体，累计專利已别离冲破136项、228项，别离得到“中國電子化工质料專業十强”和“專精特新小伟人企業”称呼。

此中，華特气体聚焦電子特气研發，金宏气体则偏重電子特气综合辦理技能。華特的產物已实現了對海内8寸以上集成電路制造厂商跨越80%的笼盖率。

金宏气体则打造了“气体纯化-尾气收受接管提纯-深冷快線持续供气-高纯气体包装-物流配送”的技能系统，涵盖了從气体系体例备到運输再到辦理的全進程。

将来中國企業要晋升對客户個性化定制的能力，和持久不乱的保障，才是做大做强的關頭。

是以，與其说是企業层面的差距，不如说是全部芯片財產链的弱势而至，只有海内晶圆制造企業與本土電子气体公司实現有用联動，才能防止堕入单點冲破的逆境。

箭在弦上

經由過程ASML認证，華特气体打响了中國气体企業冲刺高真個第一枪。

梳理来看，A股市場具有五家特种气体龙頭，華特气体、金宏气体、凯美特气是较為纯洁的特种气体公司，南大光電、雅克科技的营業加倍多元化。

不外和世界四巨擘比拟，我國特种气体企業的個頭過小。林德團体归并普莱克斯後，坐上全世界工業气体第一把交椅，2021年营收高达307.93亿美元（1950亿人民幣），法液空、美國氛围化工别离為256.99亿美元和103.23亿美元。

▲数据来历Wind，单元：亿美元

A股体量最大的金宏气体，收入不外才17.42亿元。庞大的差距致使我國气体公司在全世界芯片財產链中不被器重，華特气体在和ASML的初度接触中，後者其实不感樂趣。

“最初，阿斯麦乃至不肯意测试咱们的光刻夹杂气。”華特气体总司理傅铸红曾在采访中暗示，“咱们先後用了近一年的時候，不竭地和ASML沟通，向他们展現出產進程、品控手腕、精准检测技能等，最後感動了阿斯麦，终极实現测试并經由過程了認证。”

成长模式上，因為電子特气源于平凡工業气体的提纯，单一气体赛道的容量又過小，芯片制造所用气体多為夹杂型。是以，气体公司根基為平台型企業。

平凡工業气体做根本，特种气体晋升红利能力和估值程度。以特别气体為主营的法液空终年毛利率保持在60%摆布，乃至高于台积電的51%。

華特气体、金宏气体、凯美特气的营業布局中，特种气体的红利能力也更强。分歧的是，華特气体涉足了上遊的气体装备，尔後二者则是自然气、平凡气体和特气多元化成长。

為盘踞更高的價值链，三家企業鼎力向特种气体發力。因為ASML認证的加持，華特气体天資更优，其產物已打入英特尔、美光、德州仪器、台积電、SK海力士的供给链，海内企業中芯國际、華虹宏力、长江存储、華润微都是公司客户，而且其部門氟碳类產物已進入5nm工艺。

金宏气体的下流利用加倍遍及，涵盖新质料、半导体、新能源、工業制造等范畴，乾照光電、利市光電、通威都是公司客户。2月8日，公司與廣东芯粤能半导体签定10亿元供气定单，证实金宏气体向芯片范畴轉型已获得不错的希望。

凯美特气则是脱胎于中石化的三產企業，其產物主如果液体二氧化碳、氢气和液化气等，供给商和客户業也集中在两桶油。不外，公司也盯上了電子特气的大蛋糕，正在與阿斯麦、台积電举行對接，已获得测试機遇。

相比力来看，華特气体技能能力最强，更具辨識度；金宏气体正向芯片范畴進發，而凯美特气的高端化另有待察看。

“芯片之战就是质料之争。”

硅片、電子特气、光刻胶等耗材影响着芯片制造的良品率和機能，乃至决议着一國芯片財產的高度。丰裕芯片血脉，搭建電子特气的造血系统，已經是箭在弦上，不能不發帆布，。

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